파워큐브세미, 전력 반도체용 ‘DUV 센서’ 공개

국내 전력 반도체 기업 파워큐브세미가 최근 산화갈륨 기반의 전력 반도체 소자 ‘DUV 센서’를 개발했다고 15일 밝혔다.

해당 센서는 기존 실리콘 기반 센서와 달리 UV-C 영역대의 파장을 특정하여 감지할 수 있는 것이 특징이다.

UV-C 파장은 자외선 중에서도 가장 파장이 짧은 단파이며, 이를 측정하기 위해서는 빛에 민감한 반응과 누설되는 전류가 적어야 하는 조건이 존재한다.

파워큐브세미는 3년의 개발 끝에 최첨단 반도체 화합물 공정기술을 센서에 접목해 산화갈륨 센서 개발에 성공했다고 밝혔다.

한편 산화갈륨은 소재로 사용하기 까다로운 대신 기존 소자보다 더 우수한 전력변환 효율을 가지고 있어 3세대 반도체 소자로 촉망받는 소재이다.

산화갈륨 기반 전력 반도체용 DUV 센서 [파워큐브세미 제공]

이에 파워큐브세미는 지난 2021년부터 현대자동차 기초선행연구소(IFAT)와 협력해 1200V 고전압 산화갈륨 반도체를 개발한 바 있다.

새로 개발된 DUV는 반도체에 직접 사용하기 전에 우선 뛰어난 자외선 감지 능력을 토대로 화재 예방 센서에 도입될 예정이다.

특히 지난해 12월에는 해당 기술로 국가가 지정한 NET 인증을 취득하기도 했다.

파워큐브세미 강태영 대표이사는 “산화갈륨 소재는 이전까지 아무도 센서로는 상용화하지 못했던 소재”라고 강조했다.

이어 “DUV 센서의 성공사례를 구축해 차세대 반도체 국산화에 기여하겠다”라는 포부를 밝혔다.