美 수출규제에도 中 반도체 장비 구매 93% 급증

미국의 대(對)중 반도체 장비 수출통제 조치를 했지만 중국이 이를 우회해 첨단 반도체를 만들기 위해 칩 제조장비를 구매하고 있다는 미 하원의 보고서가 나왔다고 15일(현지 시각) 로이터 통신은 말했다.

미 하원 미·중전략경쟁특위는 14일 발표한 741쪽 분량의 연례 보고서에서 대중 반도체 수출규제에도 중국 기업들이 첨단 반도체 생산을 위해 미국과 동맹국의 반도체 장비를 구입하고 있다고 말했다.

미국과 동맹국의 무역 통제에도 불구하고 중국이 첨단 칩을 생산할 수 있음이 입증되면서 중국의 반도체 제조 장비 수입이 지난 분기에 90% 이상 증가했다고 14일 니케이아시아는 말했다.

중국 세관 데이터에 대한 닛케이 분석에 따르면 반도체 또는 집적 회로 생산을 위한 기계 및 장비 수입은 9월까지 3개월 동안 93% 증가해 634억 위안(87억 달러·약 11조 3204억원)에 달했다.

나노미터 규모의 회로 패턴을 형성하는 공정의 중요한 부분인 리소그래피 장비 수입이 거의 4배 증가했다.

중국의 네덜란드로부터 리소그래피 장비 수입이 6배 이상 증가했으며, 이 중 대부분은 세계에서 최첨단 칩 제조 장비를 공급하는 ASML에서 수입한 것으로 보인다.

리소그래피 장비는 무역 통제 대상이다.

미국이 2022년 10월 미국이 중국에 대한 칩 제조 장비 수출을 더욱 엄격하게 제한하자 일본과 네덜란드도 뒤를 따랐다. 지난 9월, 후자는 기업들에게 고급 칩을 만드는 데 사용되는 특정 리소그래피 장비를 수출하기 위한 허가를 신청하도록 요구하기 시작했다.

리소그래피 장비를 주문한 후 배송되기까지 6개월에서 1년이 걸릴 수 있다.

토카이도쿄연구소의 이시노 마사히코 선임 애널리스트는 "중국 제조업체들이 장비에 대한 접근권을 잃을 가능성을 보고 실제 수요와 상관없이 서둘러 주문을 했을 수도 있다"라고 말했다.

중국은 지난 분기 ASML 매출의 46%를 차지했으며, 이는 2022년의 14%보다 훨씬 더 큰 비중을 차지했다고 니케이 아시아는 말했다.

로저 다세 최고 재무 책임자는 실적 발표에서 중국으로의 선적은 제재의 대상이 된 첨단 반도체가 아닌 "실제로는 중급 및 성숙" 생산 공정용이며 모두 "수출 규제의 한도 내에 있다"라고 말했다.

이 장비가 고급 반도체를 만드는 데 사용될 것이라는 우려는 여전히 남아 있다. 중국은 무역 규제의 한계를 이용해 제조 기술을 향상시켜 왔다.

[로이터/연합뉴스 제공]

화웨이 테크놀로지스가 8월에 출시한 새 스마트폰에는 첨단 7나노미터 칩이 탑재되어 있는데, 연구 기관의 조사에 따르면 중국 파운드리 업체인 반도체 제조 인터내셔널(SMIC)에서 만든 것으로 밝혀졌다.

미국에 본사를 둔 전략 및 국제 연구 센터(CSIS)는 지난달 보고서에서 SMIC의 기술 역량이 발전했다고 언급하며, 이 회사가 이전에 구형 칩 생산 라인에서 사용하던 장비로 첨단 반도체를 대량 생산할 수 있을 가능성을 제기했다고 니케이는 말했다.

네덜란드의 규제는 업계 최첨단의 칩에 사용되는 특정 리소그래피 장비에만 적용된다.

CSIS 보고서는 "향후 추가 구매로 인해 SMIC의 잠재적 7nm 생산량이 더욱 늘어날 수 있다"고 경고했다.

미 하원 연례 보고서는 대중 반도체 수출 규제 조치에 허점이 있다고 지적했다.

상무부가 14나노미터 제한 규정을 사용함에 따라 "수입업체가 구형 생산 라인에서 사용 중이라고 주장하면 해당 장비를 구매할 수 있는 경우가 많고, 최종 사용 검사 능력이 제한되어 있어 해당 장비가 고급 칩 생산에 사용되지 않는지 확인하기가 어렵다"라고 설명했다.

이번 발견은 미국이 작년에 발표된 수출 규제에도 불구하고 중국 통신 대기업 화웨이가 어떻게 중국 최고의 칩 제조업체인 SMIC에서 메이트 60 프로 스마트폰을 구동하는 고급 7나노미터 칩을 생산할 수 있었는지 파악하기 위해 애쓰고 있는 가운데 나온 것이다.

중국은 반도체 장비를 국내로 반입하기 위해 글로벌 반도체 장비 강국인 미국, 네덜란드, 일본의 수출규제 도입 시차를 이용한 것으로 보인다.

미국은 비슷한 칩 제조 장비 산업을 가진 동맹국 일본과 네덜란드가 탐내는 기술의 수출에 대한 자체 제한을 발표하도록 설득함으로써 중국의 고급 칩 제조 도구에 대한 접근을 막으려고 했다.

그러나 중국은 미국의 2022년 10월 규정과 일본과 네덜란드가 각각 2023년 7월과 9월에 비슷한 조치를 취하는 사이의 시차를 이용하여 장비를 비축했다고 보고서는 자세히 설명했다.

보고서에 따르면 2023년 1월부터 8월까지 중국은 네덜란드에서 32억 달러(235억 위안) 상당의 반도체 제조 기계를 수입했으며, 이는 2022년 같은 기간에 기록한 17억 달러(120억 위안)에 비해 96.1% 증가한 수치다.

올해 첫 8개월 동안 중국이 모든 국가로부터 수입한 반도체 장비는 총 138억 달러(1,000억 위안)에 달했다고 덧붙였다.

지난 분기 중국의 대일 칩 제조 장비 수입은 리소그래피 장비와 도쿄 일렉트론의 전문 분야인 에칭 장비의 증가로 전년 동기 대비 약 40% 증가했다.

가장 먼저 수출 제한 조치를 취한 미국으로부터의 수입은 약 20% 증가에 그쳤다.

중국의 반도체 제조 장비 수입에서 미국의 점유율은 2021년 17%에서 해당 분기 9%로 감소한 반면, 네덜란드의 점유율은 약 15%에서 30%로 급증했으며 일본의 점유율은 32%에서 25%로 감소했다.