SK하이닉스·TEMC, 네온가스 재활용 기술 개발

SK하이닉스가 국내 반도체용 특수가스 기업 TEMC와 함께 반도체 업계 최초로 네온가스 재활용 기술을 개발했다고 1일 밝혔다.

네온은 반도체 회로를 그리는 ‘노광공정’에 필수적인 가스로, 레이저 광원으로 활용할 때 화학적으로 분해되거나 변형되지 않는다는 장점이 있다.

그러나 공기 중에 극소량만 존재하고 인공 제조가 불가능해 희소성이 높아 국내 반도체 업계는 네온가스를 대부분 수입에 의존했다.

이에 SK하이닉스는 TEMC와 함께 네온을 재활용하는 신기술을 개발했다.

먼저 SK하이닉스가 공기 중의 가스와 화합물 등을 걸러내고 제거하는 ‘스크러버’를 활용해 공기 중으로 배출되는 네온가스를 탱크에 포집하면, TEMC의 가스 처리 기술로 네온만 선택적으로 다시 정제하는 방식이다.

해당 기술로 회수되는 네온가스의 비율은 현재 72.7% 수준이며, 양사는 향후 정제 수율을 개선해 77%까지 정밀성을 향상할 방침이다.

SK하이닉스와 TEMC의 네온가스 재활용 기술 [SK하이닉스 제공]

한편 SK하이닉스는 이번 재활용 기술을 반도체 생산라인에 적용할 경우 연간 400억 원에 달하는 네온 구매 비용을 줄일 수 있을 것으로 기대했다.

또 네온을 수입하고 운송하는 과정에서 발생하는 간접 탄소 배출량도 줄어들어 친환경 지표 Scope3 지수도 낮아질 전망이다.

앞서 지난 2월 SK하이닉스는 ‘재활용 소재 사용 중장기 로드맵’ 발표를 통해 오는 2025년까지 재활용 소재 비율 25%, 2030년까지 30% 이상으로 늘리겠다는 목표를 밝힌 바 있다.

[연합뉴스 제공]

SK하이닉스는 이번 네온 재활용 기술이 재활용 소재 비율 상승에 큰 역할을 할 것으로 기대했다.

SK하이닉스 관계자는 “이번 기술을 토대로 향후 반도체 공정에서 화학적으로 분해·변형되지 않는 모든 소재를 재활용하는 것을 최종 목표로 삼고 있다”라고 말했다.

이어 “특히 수소와 중수소, 헬륨 등의 가스 소재와 황산 등 화학 소재를 비롯한 총 10개 원자재의 재활용 기술을 2025년까지 개발할 것”이라고 덧붙였다.