도쿄일렉트론코리아, 3만 9200㎡ 규모 반도체 R&D센터 준공

일본 반도체 장비 기업 도쿄일렉트론(TEL)의 국내 자회사 도쿄일렉트론코리아(TEL코리아)가 반도체 제조 공정 고도화를 위해 국내에 R&D센터를 신설한다.

TEL코리아는 경기도 화성시에 연면적 3만 9200㎡ 규모의 ‘TEL 테크놀로지 센터 코리아-2(TCCK-2)’를 준공했다고 18일 밝혔다.

이날 준공식은 TEL 가와이 토시키 CEO와 삼성전자 전영현 부회장, 송재혁 CTO 등 관계 기업인 200여 명이 참석한 가운데 진행됐다.

TEL은 ASML·AMAT·KLM·램리서치와 함께 세계 5대 반도체 제조장비 기업으로, 국내에 R&D센터를 구축한 것은 이번이 세 번째다.

특히 TEL코리아는 현재 삼성전자와 협력 관계에 있는 것으로 알려졌다.

도쿄일렉트론코리아의 화성시 반도체 R&D센터 준공식 [도쿄일렉트론코리아 제공]

이번 R&D센터는 반도체 기술이 고도화됨에 따라 맞춤형 연구개발이 필요한 부분에서 고객의 웨이퍼를 가져와 가공하기 위한 공정 기술을 개발하게 된다.

또 TEL의 글로벌 고객과 즉각적으로 소통하기 위한 창구로서도 기능할 전망이다.

TEL코리아는 고객과 정보 공유 및 피드백 활성화를 통해 공정 개발 기간을 단축하고 개발 평가 설비를 조기 양산하는 것이 목표라고 밝혔다.

도쿄일렉트론코리아 원제형 대표이사는 이날 “아무리 좋은 장치를 만들어도 고객 생산 프로세스에 맞지 않으면 의미가 없다”라고 말했다.

또 "고객의 근접 거리에서 소통하고 설비의 기능을 합치시켜 신속하고 우수한 기술 개발 및 서비스 지원으로 반도체 산업의 기반 기술을 강화할 것"이라는 포부를 밝혔다.