KERI·비스텍·밀양시 공동연구개발 협정체결

한국전기연구원 유태환 원장(왼쪽)과 엄용수 밀양시장, 비스텍 마크 얀셀 최고 재무책임자(오른쪽)이 나노인쇄전자 기술에 관한 공동연구개발 협력협정을 체결하고 악수하고 있다

한국전기연구원(이하 KERI, 원장 유태환, www.keri.re.kr)은 밀양(KERI 나노공정장비연구그룹 소재)시와 함께 31일 오후 평판형 전자인쇄 장비 분야에서 1조원 규모의 매출을 올리고 있는 미국 비스텍(Vistec Lithography. Inc)사와 인력·기술정보교류, 공동연구·사업화 추진에 관한 3자 협정을 체결했다고 2일 밝혔다.

비스텍은 40여 년간 E-BEAM 관련 기술을 연구해 왔으며 20여 개국에 시스템을 수출하는 기업으로 지난해 나노코리아 행사에서 KERI의 기술을 접하고 그 우수성과 가능성을 높이 사 공동회사 설립을 제안한 바 있다.

비스텍 마크 얀셀 최고 재무책임자는 “비스텍의 E-Beam 경통 기술과 KERI의 자기부상 나노스테이지 기술을 결합하면, 전세계 산업계의 숙원인 대면적 나노패턴 인쇄기술의 발전에 크게 기여할 수 있을 것이다”며 “특히 LCD 분야만을 생각할 경우에도 상업적으로 엄청난 가치가 있으며, 비스텍에게도 분명 큰 기회라고 생각한다"고 밝혔다.
 
한편, KERI는 31일 서울 역삼동 한국과학기술회관에서 ‘차세대 반도체/디스플레이를 양산할 수 있는 원통나노금형 제작기술'에 관한 연구성과 발표회를 갖고 반도체 회로나 차세대 디스플레이, 태양전지 등의 대면적 나노·마이크로 패턴을 인쇄할 수 있는 원통형 나노노광 장비와 플라즈마 식각장비 및 일괄 공정 기술을 발표했다.
 
이번 성과는 나노미터(10억분의 1미터)급의 미세한 무늬를 대면적의 반도체 및 LCD 등의 기판이나 태양전지 등에 대량으로 정밀하게 인쇄할 수 있는 첨단 기술로 세계 최초로 개발됐다.
 
유태환 원장은 이날 인사말을 통해 "나노기술은 새로운 녹색기술로 각광받고 있으며, 여러 선진국이 사 개발에 많은 노력을 기울이고 있다"며, "KERI가 개발한 나노 금형 핵심기술은 우리나라 반도체 디스플레이 산업이 세계시장을 주도하는데 크게 기여할 것으로 예상한다"고 말했다.