미국과 네덜란드는 중국의 기술이 중국 군사력 강화에 사용되는 것을 막기 위한 양국의 지속적인 노력의 일환으로 칩 제조 장비 수출을 더욱 제한함으로써 올 여름 중국의 칩 제조업체에 공격타를 날릴 것으로 보인다고 30일(현지 시각) 로이터 통신은 보도했다.
네덜란드는 자국 기업인 ASML과 다른 기업의 특정 장비 수출을 억제할 계획으로 미국은 한 걸음 더 나아가 특정 중국 팹에서 더 많은 네덜란드 장비를 보류할 것으로 예상된다.
미국은 10월 국가 안보를 이유로 램리서치(Lam Research), AMAT 등 미국 기업의 중국으로의 미국 칩 제조 도구 수출에 제한을 가했으며, 주요 공급업체가 있는 다른 국가에도 유사한 제한을 도입하도록 로비를 벌였다.
워싱턴 주재 중국 대사관 대변인 류펑유는 미국이 "고의적으로 중국 기업을 봉쇄하고 발목을 잡았으며 산업을 강제로 이전하고 탈동조화를 추진했다"고 비난하며 "중국은 상황을 면밀히 주시하고 우리 자신의 이익을 확고히 보호할 것"이라고 말했다.
칩 장비 제조업체인 니콘과 도쿄 일렉트론이 있는 일본은 다음달 23일부터 시행되는 반도체 제조 장비 23종의 수출을 제한하는 규정을 채택했다.
네덜란드 정부는 이날 ASML의 두 번째로 우수한 제품 라인인 딥 울트라 바이올렛(DUV) 반도체 장비의 최상위 단계에 대한 라이선스 요건을 담은 새로운 규정을 발표할 예정이다.
ASML의 가장 정교한 장비인 극자외선 "EUV" 리소그래피 장비는 이미 제한을 받고 있으며, 중국으로 수출은 없었다.
ASML은 3월에 네덜란드의 규제가 트윈스캔 NXT:2000i와 더 정교한 모델에 영향을 미칠 것으로 예상한다고 밝혔다.
그러나 소식통에 따르면 미국이 미국 부품이 조금이라도 포함된 외국 장비를 해당 시설로 제한할 수 있는 새로운 미국 규칙에 따라 트윈스캔 NXT:1980Di와 같은 이 회사의 구형 DUV 모델도 약 6곳의 중국 시설에서 사용할 수 없게 될 것으로 예상된다.
소식통에 따르면 새로운 네덜란드 규정은 즉시 발효되지는 않을 것이며, 발효일이 발표 후 두 달 후인 9월이 될 것으로 예상하고 있다.
소식통에 따르면 7월 말에 발표될 예정인 미국 규정은 중국 최대 반도체 제조업체인 SMIC가 운영하는 팹을 포함해 약 6곳의 중국 시설에 장비를 수출하려면 라이선스를 받아야 한다. 그러나 해당 시설에 장비를 배송 할 수있는 라이센스가 거부 될 가능성이 높다고 소식통은 말했다.
미국의 규정은 세계 최고의 칩 장비 제조업체이자 네덜란드 최대 기업인 ASML에 적용될 것으로 예상되는데, 그 시스템에는 미국 부품과 구성 요소가 포함되어 있기 때문이다.
소식통에 따르면 미국은 7월에 10월의 전면적인 규정에 대한 다른 업데이트도 내놓을 것으로 예상됩니다.