주성엔지니어링 특허권 취득

주성엔지니어링이 실리콘 나이트라이드의 원자층 증착 방법 특허권을 취득했다고 공시했다.

이번 특허 기술은 증착 속도 향상 및 공정 효율의 증가를 위한 실리콘 나이트라이드 증착 방법에 관한 것으로 주성엔지니어링은 반도체와 FPD 장비사업의 경쟁력 강화를 위한 기술로 활용할 계획이다.